激光蝕刻技術原理及典型應用

激光蝕刻技術技術原理

激光蝕刻的基本原理是將高光束質量的小功率激光(一般為紫外線激光、光纖激光)聚焦在極小的光點上，在焦點上形成高功率密度，使材料瞬間蒸發，形成孔、槽、槽，形成極小的功率密度。激光微納切割、切割、腐蝕、鉆孔等工藝。

激光蝕刻技術技術特征

以激光非接觸方式加工，高柔性、高速、無噪聲、熱影響區小、可聚焦至激光波長級的極小光斑等，在打眼、劃片、刻蝕、切割尺寸精度和加工質量方面，尤其是與某些材料(例如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學作用”的“冷加工”，可獲得無碳化效果的“冷加工”，尤其是與某些材料(如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學作用”的“冷加工”，可獲得無碳化效果的“冷加工”，特別是與某些材料(如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學作用”的“冷加工”，可獲得無碳化效果的“冷加工”，特別是與某些材料(如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學作用”的“冷加工”，可獲得無碳化效果的“冷加工”，特別是與某些材料(如聚酰亞胺)相互作用為“光化學作用”

激光刻蝕技術的典型應用

1）薄膜激光刻蝕應用

好處：

再現性好，功率大，材料去除速度快，無化學腐蝕污染。ITO涂層激光刻蝕機是利用激光在ITOGlass和ITOFilm表面表面進行ITO涂層刻蝕的精密設備。能在玻璃、PET、ITO鍍膜、多晶膜及其它氧化物薄膜上進行各種不同尺寸的高精度、高速刻蝕，可加工多種規格的電極。特別適合手機觸摸屏的電極蝕刻技術。

玻璃激光蝕刻技術，ITO。

2)太陽能電池激光劃片

好處：

整體結構合理，切割速度快，精度高，功能齊全，性能指標穩定可靠，故障率低，非接觸加工成品率高，適用范圍廣。

簡單易行，24小時長時間連續工作，節能環保。

利用圖形化用戶界面(GUI)，人機界面友好，能實時顯示切割軌跡，操作簡單、直觀。

可選的圖像自動識別處理及定位功能。

太陽電池是一種利用光電效應或光化效應將能量直接轉換為電能的裝置。薄膜太陽能電池生產工藝:基底(TCO導電玻璃)-玻璃磨邊-玻璃清洗-1064激光刻劃-二次清洗-夾具加熱預熱-PECVD沉積非晶硅薄膜-冷卻夾具-635激光刻劃-PVD磁控濺射-635激光刻劃-測試-老化-激光清洗-三次清洗-焊接極線-層壓-安裝框架。用于薄膜太陽能電池的激光劃片，熱影響面積小，劃線質量好。采用無觸點加工方法避免了刀片加工中產生的應力，可有效地提高硅片改片的優等品率，同時也使電池片劃線質量得到了很大的提高?？蛇x配置CCD圖像處理系統，實現特殊規格電池片的精密劃線。

3)激光打磨。

好處：

綠色環保，無需任何化學藥品及清潔劑。

無觸點清潔，無機械力，不變形，效率高，節省時間。

可以實現常規清洗無法達到的清潔效果。

也可以有選擇地清洗材料表面的污染物，而不會損害材料表面。

激光具有快速無污染的特點，通過專用控制軟件界面友好，可以同時完成多種激光工作。適用于非晶硅薄膜太陽電池板周圍鍍膜的絕緣、清除和清洗。

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